2023年3月3日，上海大学微电子学院师生一行来到埃地沃兹上海公司参观。 首先由公司人事总监安平致欢迎词，接下来Edwards中国区技术与应用经理叶军博士、Edwards中国区前沿技术开发经理马震博士和Edwards上海创新中心负责人刘翔宇分别作为主讲嘉宾，分别从半导体技术和真空技术两方面展开论述。上海微电子产业学院副院长张军、微电子学院副教授姜琳、闫腾飞、微电子学院就业负责老师、朱沁、宗琪共同组织参与。讲座由微电子学院副教授姜琳老师主持。微电子学院共有研究生、本科生共20余人参加，本次参观学习旨在让学生走近半导体行业，培养集成电路紧缺人才，并通过实地参观和学习的形式了解企业实际运作及理论模式。
首先，由马震博士为大家介绍了参观过程中的一些注意事项，包括工厂的设备，实验室位置，紧急出入口和遇到危险警报后的安全通道等。随后带领同学们有序的参观了FPD实验室、废水站、循环利用培训设备室和semicon 实验室等。并通过实地讲解为学生们深入浅出地介绍了埃地沃兹。作为全球领先的真空设备、尾气处理系统和相关增值服务的开发商和制造商，公司的产品和服务在半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造流程中不可或缺。以及公司的各类先进设备，如：光谱仪FTIR和尾气处理设备，对尾气进出口取样数据的检测和处理均有着不可替代的作用。
参观结束后，Edwards上海创新中心负责人刘翔宇，为同学们详细讲解了半导体技术与真空技术的关系，通过一系列事例与对比的讲解，同学们认识到了半导体技术离不开真空技术的支持，真空是数字工业的基础，他强调真空技术的重要性，也鼓励同学们针对一些卡脖子技术难点努力突破。兴趣是研究的第一步。
随后，中国区技术与应用经理叶军博士,进一步为同学们讲解了真空认知基础，真空测量，真空流导计算和真空检漏等。详细介绍了半导体真空应用。老师针对半导体产业的技术痛点问题与同学们展开讨论。最后通过获取目标真空的技术进行详细讲解。如：有效的降低气载和提升系统的有效抽速、真空用密封法兰等，让同学们对真空的基础知识与测量有了更深入的理解。
最后，Edwards中国区前沿技术开发经理马震博士通过真空获得设备、半导体真空和尾气处理设备、半导体真空工艺设备市场概况、工艺设备真空结构和半导体工艺过程对真空泵的影响五个方面详细的介绍了真空与半导体等技术研究。会后，同学们积极提问，如分子泵动叶片和定叶片为啥不能向一个方向前进？老师们也积极回答，画图温馨解释，同学们均表示受益匪浅。
活动结束后，老师同学们合影留恋。此次参观学习旨在为同学们对微电子半导体真空的研究学习奠定基础，对真空领域的发展有进一步认识。三位主讲人的精彩讲座丰富了同学们在真空研究方面的相关知识，有助于同学们将专业知识与当下国际实际情况相结合，让同学们在时代进步中焕发绚丽光彩。至此，上海大学微电子学院走进埃地沃兹（中国）活动圆满结束！
